對當(dang)前(qian)較(jiao)被關心(xin)的(de)(de)問(wen)題，如潔凈室的(de)(de)氣流速度的(de)(de)確定，FFU系統的(de)(de)應用(yong)及(ji)懸浮分子(zi)污染控制，進行情況歸(gui)納和分析。

　　一.前言

　　潔凈室(shi)的(de)氣流(liu)速度/換氣次(ci)數，一直是潔凈室(shi)設(she)計中受到關注的(de)問題(ti)，隨(sui)著潔凈室(shi)污染(ran)(ran)源(yuan)的(de)控(kong)制(zhi)效果(guo)增加及(ji)末(mo)級(ji)過濾器效率的(de)提(ti)高等(deng)(deng)，對有關規范、導則等(deng)(deng)提(ti)出的(de)推薦(jian)或(huo)參考值是否(fou)(fou)偏于(yu)保守，已有不(bu)少討論；FFU在(zai)應(ying)用(yong)中人們擔心的(de)噪音、損壞維修等(deng)(deng)問題(ti)已在(zai)實踐中得到解決，隨(sui)著FFU的(de)不(bu)斷改進，對是否(fou)(fou)采用(yong)FFU回風系統(tong)也是個熱點：懸浮(fu)分(fen)子(zi)(zi)污染(ran)(ran)（AMC）的(de)控(kong)制(zhi)在(zai)微電(dian)子(zi)(zi)及(ji)IC工業中已日(ri)(ri)益提(ti)到日(ri)(ri)程上來(lai)，受到關注。以下(xia)對這些問題(ti)的(de)情(qing)況分(fen)別作歸(gui)納和分(fen)析。

　　二.氣(qi)流速度

　　2.1有關推(tui)薦或參(can)考值的應用(yong)

　　潔(jie)凈(jing)室(shi)內(nei)一定潔(jie)凈(jing)度下氣流(liu)速度的(de)確定，隨潔(jie)凈(jing)室(shi)用途等具體(ti)情況而異，它不僅(jin)受室(shi)內(nei)發塵量及過濾(lv)器效率還(huan)受其他因素影響(xiang)，就(jiu)工業潔(jie)凈(jing)室(shi)而言，影響(xiang)潔(jie)凈(jing)度及選擇氣流(liu)速度的(de)因素主(zhu)要(yao)是：

　　（1）室內(nei)污染源：建筑物組件、人員數量及(ji)操(cao)作活動(dong)、工藝(yi)設備、工藝(yi)材料及(ji)工藝(yi)加工本身等都是(shi)塵粒釋放源，根據具(ju)體情況而異，變化很大；

　　（2）室內氣流(liu)流(liu)型及(ji)(ji)分布(bu)：單(dan)向(xiang)流(liu)要(yao)求(qiu)均勻、平等(deng)的(de)流(liu)線，但會受到工藝設備布(bu)置和(he)位置變動(dong)及(ji)(ji)人員(yuan)活動(dong)情(qing)況等(deng)的(de)干擾(rao)形成局(ju)部渦(wo)流(liu)；而非單(dan)向(xiang)流(liu)要(yao)求(qiu)充(chong)混(hun)合(he)，避免死(si)角及(ji)(ji)溫度分層；

　　（3）自(zi)(zi)凈(jing)時(shi)間(jian)（恢(hui)(hui)復時(shi)間(jian)）的(de)(de)(de)控制要求：潔凈(jing)室(shi)中事故釋放(fang)或帶入污染物或空氣(qi)氣(qi)流(liu)(liu)(liu)的(de)(de)(de)中斷或正常操作時(shi)的(de)(de)(de)間(jian)歇性對流(liu)(liu)(liu)氣(qi)流(liu)(liu)(liu)或人及設備的(de)(de)(de)移動(dong)等都會造成潔凈(jing)度的(de)(de)(de)惡化，恢(hui)(hui)復到原(yuan)來(lai)潔凈(jing)度的(de)(de)(de)自(zi)(zi)凈(jing)時(shi)間(jian)決(jue)定于(yu)氣(qi)流(liu)(liu)(liu)速度；對自(zi)(zi)凈(jing)時(shi)間(jian)的(de)(de)(de)控制要求取(qu)決(jue)于(yu)此(ci)時(shi)間(jian)框架內（惡化的(de)(de)(de)潔凈(jing)度下），對產品生產的(de)(de)(de)質量及成品率影響(xiang)的(de)(de)(de)承受能力(li)；

　　（4）末級過濾器(qi)的(de)效率：在(zai)一定的(de)室(shi)內發塵(chen)量(liang)下，可采(cai)(cai)用較高(gao)效率的(de)過濾器(qi)以降低(di)氣(qi)流速(su)度；為節能應考(kao)慮采(cai)(cai)用較高(gao)效率的(de)過濾器(qi)，并(bing)降低(di)氣(qi)流速(su)度，或采(cai)(cai)用較低(di)效率的(de)過濾器(qi)并(bing)采(cai)(cai)用較高(gao)的(de)氣(qi)流速(su)度，以求流量(liang)與阻力的(de)乘積(ji)最小；

　　（5）經(jing)濟性考慮：過大的(de)氣流(liu)速度造成(cheng)投資及(ji)運行費用的(de)增加，合(he)適的(de)氣流(liu)速度為以上諸因素(su)合(he)理的(de)綜(zong)合(he)，過大往(wang)往(wang)不(bu)必要(yao)，亦不(bu)一(yi)定有效果(guo)；

　　（6）對潔凈度要(yao)求(qiu)低的(de)潔凈室(shi)，有(you)時(shi)換氣次數決定于(yu)室(shi)內排熱(re)的(de)要(yao)求(qiu)。

　　以上(shang)因(yin)素(su)(su)，皆很難(nan)量化，只能分析對(dui)比并估計(ji)。因(yin)此在工程應(ying)用中，對(dui)潔(jie)凈室的氣流速度往往參照有關規范、導則等的推薦或參考值，再按具體(ti)情況估計(ji)以上(shang)各影響因(yin)素(su)(su)進行綜合(he)考慮后確定。

　　氣流(liu)速度用于(yu)(yu)單向流(liu)潔凈(jing)室；非單向流(liu)潔凈(jing)室宜用換氣次(ci)數，因為其氣流(liu)速度難于(yu)(yu)測準；亦(yi)有用末(mo)級過濾(lv)滿(man)布(bu)率來反映的，可用于(yu)(yu)各(ge)種(zhong)氣流(liu)流(liu)型的潔凈(jing)室，一般滿(man)布(bu)率100%相(xiang)對(dui)于(yu)(yu)流(liu)速0.5m/s（100fpm），25%相(xiang)對(dui)于(yu)(yu)0.125m/s（25fpm）。當前(qian)有關規范、導則等的推薦或參考值見表1。

　　此主題相(xiang)關圖片如(ru)下：

　　表1中有關(guan)氣流速(su)度(du)和換氣次(ci)數的(de)(de)(de)(de)推薦或參考值(zhi)(zhi)(zhi)，應該說是經驗(yan)的(de)(de)(de)(de)反映(ying)。如ISO/DIS 14664-4提出的(de)(de)(de)(de)數值(zhi)(zhi)(zhi)皆(jie)明確適用于(yu)那類潔凈室的(de)(de)(de)(de)；IEST的(de)(de)(de)(de)推薦值(zhi)(zhi)(zhi)亦是被一些權威機構認為僅適用于(yu)半導體工廠。由(you)于(yu)具體情(qing)況(kuang)變化較大，有的(de)(de)(de)(de)經驗(yan)值(zhi)(zhi)(zhi)可能(neng)已不適合(he)當前的(de)(de)(de)(de)室內塵源控制措施及(ji)過濾器效率提高的(de)(de)(de)(de)情(qing)況(kuang)。

　　2.2對有關推薦或參(can)考值的討論

　　近年來(lai)不少人通過(guo)實驗認(ren)為這些推薦或參考(kao)值過(guo)于(yu)保守，其論點可歸納(na)為：

　　0.1m/s就(jiu)足夠帶走污(wu)染(ran)物(wu)(wu)，在此流(liu)速(su)(su)下亞微米粒子(zi)的(de)(de)擴散性能(neng)遠低于(yu)對(dui)流(liu)性能(neng)；而大于(yu)0.36m/s的(de)(de)氣流(liu)速(su)(su)度反而易千百(bai)萬渦流(liu)，引起污(wu)染(ran)物(wu)(wu)的(de)(de)再(zai)(zai)卷入(ru)。因(yin)此，潔凈室的(de)(de)理想自凈時間Tr=體(ti)積(ji)/流(liu)率，到(dao)一定值后由于(yu)污(wu)染(ran)物(wu)(wu)的(de)(de)再(zai)(zai)卷入(ru)，再(zai)(zai)增大氣流(liu)速(su)(su)度，實際的(de)(de)Tr并不再(zai)(zai)有明(ming)顯的(de)(de)減(jian)少(shao)。

　　末(mo)級過(guo)濾器的效率(lv)對潔(jie)凈(jing)(jing)度(du)的影(ying)響是值(zhi)得(de)起(qi)注(zhu)意的。有的氣流速度(du)/換(huan)氣次數(shu)推薦或參考值(zhi)對末(mo)級過(guo)濾器效率(lv)提高的因素往(wang)往(wang)沒作考慮。當前HEPA/ULPA的效率(lv)從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至(zhi)8個(ge)9以上(shang)都可(ke)選(xuan)擇。其效率(lv)對氣流速度(du)的影(ying)響除以上(shang)已(yi)提及外，以下方面亦(yi)值(zhi)得(de)引起(qi)注(zhu)意，在非單向流情況(kuang)下，按衡釋原理的潔(jie)凈(jing)(jing)室內含塵濃度(du)穩定公式(shi)可(ke)以得(de)出：

　　（a）室內發塵(chen)量較高時(shi)，末級過(guo)濾器(參(can)考www.bacclean.com)效(xiao)率的(de)變化對潔凈(jing)度影響(xiang)甚(shen)微，因此在(zai)這種情況(kuang)下，過(guo)高的(de)過(guo)濾效(xiao)率是(shi)無必要的(de)。

　　（b）室內發生塵量較低的情(qing)況下，采用低的氣流(liu)速(su)度(du)下，末級過(guo)濾器效率的變速(su)器變化，對潔凈(jing)度(du)的影響(xiang)增大。

　　以(yi)上情況可以(yi)引用(yong)的圖1a～1c看(kan)出。

　　此主題相關(guan)圖(tu)片如(ru)下：

　　作圖有關數據：

　　新風進末過濾器前的含塵濃度1.75×106個/m3

　　室內發生量:G1=350個/m3.min

　　G2=3500個/m3.min

　　G3=35000個/m3.min

　　G4=350000個/m3.min

　　新風(feng)量對(dui)于全(quan)空氣(qi)量的(de)比(bi)率 0.03

　　當前(qian)有(you)的(de)(de)IC工廠其ISO5級(ji)（0.3μm）的(de)(de)潔凈(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)，采用(yong)FFU系統,帶ULPA（99.9995%,0.12μm），出口風速(su)為0.38m/s，其滿布(bu)率(lv)為25%，這樣室(shi)(shi)內(nei)平均氣流(liu)速(su)度為0.095m/s，在各有(you)關推薦(jian)或參考值(zhi)的(de)(de)下(xia)限下(xia)。此潔凈(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)的(de)(de)工藝加工在微環境內(nei)潔凈(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)內(nei)的(de)(de)人(ren)員亦較少，可以(yi)認為潔凈(jing)(jing)(jing)室(shi)(shi)內(nei)發生較低(di)，這種情況下(xia)采用(yong)低(di)的(de)(de)氣流(liu)速(su)度可能是可取的(de)(de)。

　　據報道，目前IEST對潔凈(jing)室內氣流速度推薦值(zhi)的下限有所降低，如：

　　≤ISO5級(ji)：氣(qi)流(liu)速度(du)0.2～0.5m/s；

　　ISO6級(ji)或5級(ji)（非單向(xiang)流）；換氣次數＞200次/h；

　　ISO7級(ji)：換氣次數20～200次/h;

　　ISO8級：換氣次(ci)數2～20次(ci)/h;

　　三.FFU系統的應(ying)用

　　3.1當(dang)前FFU的情(qing)況

　　FFU在使用壽(shou)命及(ji)維護上已經實(shi)踐證明無可(ke)擔心。當(dang)前其改進主要是：

　　（1）采取均流及減少噪音(yin)的(de)措施，噪音(yin)可(ke)在50db以內;

　　（2）電(dian)(dian)(dian)(dian)動機采用DC/EC（電(dian)(dian)(dian)(dian)子整流(liu)電(dian)(dian)(dian)(dian)機），以耗(hao)較原交流(liu)電(dian)(dian)(dian)(dian)機節約(yue)(yue)近50%，因為(wei)小風機所用小容量（功率(lv)(lv)<1/2HP）的交流(liu)電(dian)(dian)(dian)(dian)機，一般皆為(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)容分相式(shi)或隱極式(shi)，其效(xiao)率(lv)(lv)僅40%左(zuo)右，而DC/EC電(dian)(dian)(dian)(dian)機的效(xiao)率(lv)(lv)可達(da)75～80%；在調速控(kong)制上(shang)可每臺單獨的以過濾器降壓進(jin)行控(kong)制以節約(yue)(yue)能(neng)耗(hao)，但目前投資(zi)回收期尚(shang)長而未廣泛采用，一般常用分組(zu)群(qun)控(kong)或全部群(qun)控(kong)。

　　（3）但FF瓣出(chu)口靜(jing)壓(ya)不(bu)能(neng)過(guo)大(da)，一(yi)般采用出(chu)口風(feng)速成0.38m/s，此時其靜(jing)壓(ya)一(yi)般在250Pa以內。

　　3.2FFU回(hui)風系統與其他方(fang)式相比的優點(dian)

　　3.2.1一般評(ping)價

　　優點：

　　（1）靈活(huo)性大(da)，便(bian)于(yu)改造；

　　（2）占用建筑(zhu)物空(kong)間較少；

　　（3）潔凈室內空(kong)氣(qi)壓力大于回風靜(jing)壓室，排除靜(jing)壓室對(dui)潔凈室污(wu)染的可能性。

　　缺(que)點：

　　（1）要(yao)求回(hui)風道(dao)(dao)(dao)全部阻(zu)力(li)(li)(li)（包括多孔(kong)地板、格柵(zha)及風道(dao)(dao)(dao)）、干(gan)表(biao)冷器(qi)阻(zu)力(li)(li)(li)及末級過濾器(qi)的阻(zu)力(li)(li)(li)（在(zai)初阻(zu)力(li)(li)(li)時），總共應控(kong)制在(zai)165Pa左右，以(yi)滿足(zu)運行時最大(da)阻(zu)力(li)(li)(li)在(zai)250Pa以(yi)內(nei)。因此干(gan)表(biao)冷器(qi)的傳熱面積要(yao)較大(da)，回(hui)風道(dao)(dao)(dao)尺(chi)寸(cun)亦(yi)要(yao)較大(da)，多孔(kong)地板及格柵(zha)等的阻(zu)力(li)(li)(li)要(yao)小，一般作法是(shi)：控(kong)制干(gan)表(biao)冷器(qi)阻(zu)力(li)(li)(li)在(zai)50Pa左右，回(hui)風道(dao)(dao)(dao)阻(zu)力(li)(li)(li)在(zai)15Pa以(yi)內(nei)，否則就需要(yao)再增設(she)加壓風機系統，這就是(shi)降低了(le)FFU系統的綜(zong)合優點。

　　（2）采(cai)用(yong)DC/EC電機(ji)后，單(dan)位風(feng)量的能耗可能比當前一般大(da)(da)型(xing)離心風(feng)機(ji)的集中(zhong)系(xi)統為低，但已有研(yan)究(jiu)指出(chu)，比采(cai)用(yong)改(gai)進后的大(da)(da)型(xing)軸(zhou)(zhou)流(liu)風(feng)機(ji)的回風(feng)系(xi)統的能耗還是要高。因此需(xu)要注意大(da)(da)型(xing)軸(zhou)(zhou)流(liu)風(feng)機(ji)的效率提高及其系(xi)統的阻力降(jiang)低的因素。

　　（3）一(yi)般FFU系(xi)統由于單位風量的能耗較大，因此潔凈室的冷負(fu)荷亦相應增加(jia)。

　　3.2.2具(ju)體(ti)情況下的評價

　　（1）FFU用于老(lao)建筑(zhu)物改造成潔(jie)凈室時，其(qi)綜合經(jing)濟性一般往往可(ke)取(qu)。

　　（2）潔(jie)凈度(du)要求嚴(yan)的(de)潔(jie)凈室(shi)，末級過(guo)濾器滿布率100%時(shi)，對大的(de)系(xi)統采用FFU，當前(qian)還是不經(jing)濟的(de)；對小系(xi)統有意義作(zuo)具體(ti)比較(jiao)。

　　（3）對(dui)(dui)潔凈度要(yao)求不甚嚴(yan)的潔凈室，末級(ji)過濾器滿布(bu)率≤40%時對(dui)(dui)大(da)系統(tong)綜合經濟性往往相差不多，但對(dui)(dui)IC工廠而言FFU系統(tong)的靈活性是重要(yao)的，因此當前IC工廠對(dui)(dui)過濾器滿布(bu)率≤40%時，采用FFU系統(tong)已經普遍。

　　四.懸浮分(fen)子污染（AMC）

　　4.1AMC的(de)分(fen)類及(ji)控(kong)制要(yao)求情(qing)況

　　AMC作為IC工(gong)(gong)廠所關心的問題于20年(nian)前最先由(you)日本人提出，近(jin)年(nian)來，IC生產園片直徑(jing)已達φ300mm，工(gong)(gong)藝加工(gong)(gong)尺寸（線寬）已小于0.15μm，在某些加工(gong)(gong)工(gong)(gong)序及工(gong)(gong)序間園片的傳送和(he)存放環境中AMC已成為嚴重影響成品率(lv)的問題，已被清楚的認識到(dao)，因此，AMC的控制已由(you)談論轉到(dao)需(xu)要實(shi)施。

　　對于IC生產，AMC分為A、B、C、D四類，即：

　　A——酸性(xing)物(wu)質，如(ru)Hcl等；

　　B——堿性物(wu)質，如NH3等；

　　C——沸(fei)點高(gao)于室溫能在光潔表面冷凝的物(wu)質(zhi)，主要是(shi)碳(tan)氫化合物(wu)，某些工藝加工環境中(zhong)的水(shui)蒸汽亦需要考(kao)慮(lv)；

　　D——摻雜(za)物質，能為園片表面吸附或與表面相互反應的物質，如砷、硼、磷等。

　　AMC對(dui)當(dang)前的(de)(de)(de)IC生(sheng)產(chan)其(qi)潛在的(de)(de)(de)污(wu)(wu)染比粒(li)子(zi)污(wu)(wu)染要(yao)廣泛多，粒(li)子(zi)污(wu)(wu)染控(kong)(kong)制只(zhi)要(yao)確定(ding)粒(li)徑及(ji)個數，但對(dui)AMC控(kong)(kong)制而言，除了受(shou)芯片(pian)(pian)線寬的(de)(de)(de)縮小(xiao)而變化(hua)外，并受(shou)工(gong)(gong)藝(yi)、工(gong)(gong)藝(yi)設備(bei)、工(gong)(gong)藝(yi)材(cai)(cai)料及(ji)園(yuan)(yuan)片(pian)(pian)傳送系統等的(de)(de)(de)影響，更有甚(shen)者(zhe)用(yong)于某(mou)一工(gong)(gong)序(xu)的(de)(de)(de)各種(zhong)工(gong)(gong)藝(yi)材(cai)(cai)料（化(hua)學品(pin)、特種(zhong)氣體等）在很(hen)多情況下(xia)其(qi)微量的(de)(de)(de)分子(zi)對(dui)下(xia)一工(gong)(gong)序(xu)往往可能是(shi)(shi)污(wu)(wu)染物，而園(yuan)(yuan)片(pian)(pian)加工(gong)(gong)工(gong)(gong)序(xu)當(dang)前已多于300多個獨立(li)工(gong)(gong)序(xu)，對(dui)AMC控(kong)(kong)制指標的(de)(de)(de)確定(ding)更是(shi)(shi)復雜。因此(ci)，IC生(sheng)產(chan)對(dui)AMC的(de)(de)(de)控(kong)(kong)制，對(dui)不(bu)同的(de)(de)(de)產(chan)品(pin)、不(bu)同的(de)(de)(de)工(gong)(gong)藝(yi)、不(bu)同的(de)(de)(de)工(gong)(gong)序(xu)及(ji)不(bu)同的(de)(de)(de)工(gong)(gong)藝(yi)材(cai)(cai)料會有不(bu)同的(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)，對(dui)各種(zhong)污(wu)(wu)染物質的(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)當(dang)前總(zong)的(de)(de)(de)說法是(shi)(shi)控(kong)(kong)制在亞pptm～1000pptm間。

　　4.2AMC控制的實施(shi)情況

　　對線寬0.25μm的IC生(sheng)產，一般已常在(zai)(zai)新風處理中設(she)活(huo)性炭過濾器；有關關鍵工序以及工序間園片的傳送(song)及存放，有的生(sheng)產廠(chang)采取了AMC控制(zhi)，有的生(sheng)產廠(chang)則(ze)并未進(jin)行(xing)(xing)控制(zhi)，主要(yao)在(zai)(zai)于經濟效果的衡量(liang)上，有關具體(ti)控制(zhi)要(yao)求及措施(shi)報道甚少見，可(ke)能(neng)是(shi)由于保(bao)密(mi)的原因(yin)，但一點可(ke)以肯(ken)定，只能(neng)在(zai)(zai)局部環境內進(jin)行(xing)(xing)控制(zhi)。

　　為(wei)滿足φ300mm園片，＜0.15mm線寬(kuan)的加工要求(qiu)，近年(nian)來對(dui)AMC控制，重(zhong)點(dian)在(zai)以下(xia)三方(fang)面開(kai)展工作(zuo)：

　　（1）精確的測量(liang)技術及標準測試方法的建立(li)。因為這是掌(zhang)握AMC控制的基礎，必(bi)須先行；

　　（2）按今(jin)后IC的生產要求(qiu)(qiu)，生產線(xian)的設(she)備(bei)采(cai)用(yong)微環境隔離(li)，各設(she)備(bei)間(jian)園(yuan)(yuan)片的傳送采(cai)用(yong)前(qian)開式標準片盒（FOUPs）系統，對(dui)園(yuan)(yuan)片進行隔離(li)。因此(ci)，早已對(dui)設(she)備(bei)、FOUPs系統及(ji)(ji)微環境所用(yong)的材料要求(qiu)(qiu)不(bu)釋放及(ji)(ji)吸附有(you)關懸浮(fu)分子污染(ran)物的問題以及(ji)(ji)對(dui)此(ci)污染(ran)物的去除措(cuo)施(shi)進行研發(fa)，并不(bu)斷改進中；

　　（3）控制AMC的(de)過濾器。

　　近年(nian)來(lai)尤其(qi)是近2～3年(nian)來(lai)，對控制AMC過濾器的開發及(ji)推出有少進展；

　　A.不釋放(fang)AMC物質(zhi)的HEPA/ULPA；

　　a.低(di)硼超細玻璃纖維(wei)過濾器，現已(yi)在亞洲及(ji)歐洲的(de)IC廠使用較多；

　　b.多孔聚四氟(fu)乙稀（ePTFE）過濾器(qi)，為(wei)薄膜結構，價格比a要高出十倍(bei)左右。目(mu)前使用尚不(bu)多，正在開發下一代的。

　　B.化學過濾器

　　目(mu)前已推出的化(hua)學(xue)過(guo)濾器(qi)主要是：

　　a.活(huo)性炭過(guo)濾器，大(da)多數是晶粒(li)狀(zhuang)的，有盤片式、蜂(feng)窩式等；亦(yi)已有活(huo)性炭纖(xian)維過(guo)濾器，具有吸附速(su)度快的特點(dian)，價格尚較高；還已有晶粒(li)與纖(xian)維粘合(he)的過(guo)濾器。

　　b無紡合成(cheng)織物上浸漬各種功能晶粒（如活性炭、活性鋁，但主要是活性炭）以吸(xi)附AMC物質(zhi)。

　　至今(jin)，據報道，φ300mm園(yuan)片加工(gong)除二(er)條(tiao)(tiao)(tiao)試驗(yan)生產(chan)(chan)線外(wai)，已(yi)有四(si)條(tiao)(tiao)(tiao)生產(chan)(chan)線（德國(guo)一條(tiao)(tiao)(tiao)、美國(guo)一條(tiao)(tiao)(tiao)、我國(guo)臺灣二(er)條(tiao)(tiao)(tiao)）開(kai)始運轉，對(dui)AMC的控制情(qing)況，當然不(bu)詳，但潔(jie)凈(jing)室環(huan)境(jing)(jing)為ISO5～6級，對(dui)潔(jie)凈(jing)室設計較簡(jian)單些。可(ke)以看到，今(jin)后(hou)IC生產(chan)(chan)，其生產(chan)(chan)環(huan)境(jing)(jing)的污染(ran)控制重點必然轉到工(gong)藝設備及園(yuan)片傳、存(cun)放系統的研發及制造上(shang).